









无论是透明薄膜还是吸收薄膜,薄膜还是厚膜,介质薄膜还是半一导体薄膜,透光率测试仪厂家,晶态薄膜t还是非晶态薄膜,固体薄膜、液体薄膜还是气体薄膜等等,只要能很方便地测出它们的透射光谱,就能采用透射光谱法来测量它们的参数。但对一些反射率很大的薄膜(如金属薄入(nm)膜等)就不宜采用透射光谱法。透光率测试仪
在用透射光谱法测量薄膜参数中,的情况就是测沉积在透明基底上的透明薄膜,透光率测试仪,即在所测的光谱范围内薄膜的吸收可以忽略,消光系数k=20。透光率测试仪
若薄膜的吸收系数很大,则膜不能太厚,否则透射率太小;基底一般是透明的。若存在吸收,则吸收系数不能很大,否则透射率也会太小(因基底很厚)。透光率测试仪
在众多的薄膜厚度和光学常数的测量方法中,透射光谱法由于测量范围广、精度高、测试简单、测量条件的非苛刻性、非接触性、可同时确定薄膜光学常数和厚度等---优点而得到广泛采用。因此,本文采用透射光谱法来确定薄膜的厚度和光学常数。透光率测试仪
光谱法又分反射光谱法和透射光谱法。反射光谱法和透射光谱法都是用分光光度计测出光在垂直入射条件下(也有用斜入射光的,在线透光率测试仪,但一般用垂直入射光,因为此时可不必考虑光的偏振态)的反射或透射光谱曲线透光率测试仪
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